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张如京目瞪
呆。
在前世2008年之后,全球90%以上生产
来的芯片,用的都是林本艰所提
来的
式光刻工艺。并且,也正因为林本艰提
了这个
式工艺,这才将芯片从190纳米,一路
到了130纳米,90纳米,65纳米,40纳米,28纳米,20纳米,16纳米,10纳米,7纳米,和5纳米。甚至,连最为尖端的3纳米,采用的都是林本艰的
式光刻技术。
不过,既然来了,虽然有些听不懂,但陈宇也没有提前离开。
“这个,说不准,理论上有可能,但里面还存在着一系列要解决的问题。比如,
会不会产生汽泡,
会不会污染设备,要怎么
防
,
遇
会膨胀,折
率会改变,这又怎么解决……”
他这一次来这里听研讨会的目的,不就是为了光刻机吗?
他知
。
“
?”
“噗……”
陈宇
。
随着一个一个技术大拿纷纷演讲结束,这时,陈宇却看到讲台上走上了一位黄
肤黑
睛的亚洲人。
听了好一会,陈宇只听到
式,
式什么的。
“噢。”
如果抓住这个林本艰,那么,中国光刻机就有希望了。
“不是,他是一位越南籍华人,他叫林本艰,祖上好像也是客家人,台积电的技术大拿,在光刻机这一块很有研究。”
“说的是生产光刻机的一
技术工艺,目前我们大
分普遍用的是
式光刻机生产工艺。也就是用空气
为镜
与晶圆间的介质,让光罩上的图形在晶圆上成象。不过,这个林本艰觉得,还可以用一
式工艺。”
陈宇不是很懂技术,但却知
,这是决定未来光刻机命运的时刻。
“张总,那个林本艰说的
式和
式是什么意思?”
听到
这个词,陈宇陈宇有些激动。
“主要是我听不懂他英语说的是什么。”
“他说的这个
式名字叫
浸
式,与
式差不多。但用的介质却不一样,我们一般现在用的是空气,而林本艰提成了用
为浸
式的介质。”
张如京向陈宇述说着这一个
式光刻工艺所面对的问题。
当时日本,德国,包括
国这一些光刻机公司路线选择
错。
像这么专业的知识,别说是英语一般的,哪怕是英语很
的也
觉是听天书。
但可惜。
未来若
年之后,这一切的问题都不会成为问题。
虽然林本艰会说中文,但在这样的全球
研讨会上,演讲用的还是英语。
而aslm却是
重金开辟了另一条光刻机生产工艺。
这一次,他倒要认真的听了。
为什么后来aslm却是一统天下,完全与这一些光刻机公司选择的路线有关。
没想到,在光刻机领域竟然还有一位华人大拿。
记得前世,其实在开始之初,荷兰aslm与德国,与日本几大光刻机公司实力都差不多。
与此前一样,陈宇也
觉在听天书。
原本他以为,只要涉及到光刻机的,要么是荷兰,要么是德国,要么是日本。
“您觉得他的这个工艺有没有前途?”
“什么是
式?”
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但这也是。
也是,技术可能太复杂了,你毕竟不是专业搞芯片的。”
这个工艺,就涉及到
,也就是林本艰现在提到的浸
式。
“这是日本佳能的技术大佬?”
只是,这个时候,陈宇的
睛已经盯
了林本艰。