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磷掺杂金刚石中存在大量空位,也会与磷原
形成结合力很
的磷—空位缺陷。
一个小时后,陈舟拿
一张新的草稿纸,在草稿纸上写下一系列的实验参数。
“……1.7ev?”
接下来,该
到n型掺杂和共掺杂的问题了。
好给自己受阻的思路,打开一个缺
。
“在温度500k时,霍尔迁移率在23cm2/(v·s)……”
陈舟则再次回到座位坐好。
【氮原
于金刚石晶格中的替代位置,会形成激发能量为1.7ev的
施主能级,在室温下不导电……】
虽然磷的能级位于导带底以下0.58ev,但是这
缺陷却还是存在。
当磷原

金刚石晶格内,会引起晶格扭曲,影响金刚石中的构型、键型和电荷分布。
陈舟不由得在心中笑了笑,但也随即便决定将n型掺杂和共掺杂的问题放在一块解决。
所以在共掺杂中,他们研究的便是磷—氮共掺的方法。
“磷的掺杂
度?”
本来是准备先解决n型掺杂问题的,结果这一思考,问题就
跃到了共掺杂?
陈舟手中的动作加快,鼠标的
不断
动。
n型掺杂和共掺杂的问题,相比于p型掺杂,则要难上许多。
看到这,陈舟手中的速度不自觉的慢了下来。
而导致难以获得
质量的磷掺杂金刚石薄
。
“可这也并不是绝对的,而且晶面的问题,也不是最为关键的因素……”
这也使得陈舟就这样把两者联系在了一起。
这是陈舟思路受阻时的表现。
制备
来的掺杂金刚
而消失的内容,则代表着陈舟已经解决了相应的问题。
手中鼠标的
不断
动,屏幕上的内容也在不断变化。
“金刚石衬底的晶面选择……”
“但是,相对于(111)面单晶金刚石衬底表面抛光难、缺陷多、尺寸小来说,(100)面取向衬底表面
有原
级的平整程度,缺陷小,外延
质量也优于(111)面衬底金刚石……”
但陈舟的
睛却一眨都不眨。
【……】
这些内容,他已经过了一遍了。
因为四十三所的n型掺杂实验,采用的是磷掺杂。
【理论上,磷可以作为浅施主杂质,但磷原
的半径大于碳原
半径,很难掺
金刚石晶格中……】
沈靖拿到草稿纸后,微微一愣,旋即开始和方结明沟通,
行模型分析。
结合四十三所已经完成的10组实验数据,陈舟开始p型掺杂实验的试错。
“不是这
分的内容……”
看到这个内容时,陈舟的双
瞬间明亮起来。
“缺陷的填补……”
是因为磷原
比碳原
大,很难嵌
金刚石晶格。
这
缺陷的能级位于金刚石导带底约1.7ev的位置上,可以补偿施主,阻碍磷原
的电离。
“再梳理一遍文献资料……”
在共掺杂实验中,最早被作为磷源的是ph3,被作为氮源的是n2。
屏幕上的内容被陈舟拉到了共掺杂的
分。
然后起
走到沈靖
旁,把草稿纸甩给了沈靖。
“第一次实现金刚石n型掺杂是在(111)面金刚石衬底上
行的,而且样品在很宽的温度范围内都表现了n型半导
传到特
……”
现在,错题集上即将再次上演一波抛
线走向。
现在再看,只是寻找自己有没有漏掉的地方。
“怎么把这个数据忘了!” [page]
“电
散
机制?”
【理论表明,磷—氮共掺的方法,也许是克服宽禁带和超宽禁带半导
自
补偿的一
有效方法……】
如果氮原
能够填补缺陷,磷原
的掺杂就有了空间……
“反应压力、温度……”
但是,采用这两
气
行实验时,得到的结果却并不理想。
这样想着的陈舟,放下了手中的笔,将目光再次移向电脑屏幕。
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“硼源的掺杂
度……”
n型掺杂,或者说磷掺杂金刚石,之所以难。
想到这,陈舟手中的笔停了下来,习惯
的在草稿纸上
着
。